Edwards线爱德华半导体真空干泵特性参数介绍

更新时间:2024-04-14 作者: 技术知识

  深圳市托理拆利机电设备有限公司供给真空范畴技能及产品服务的高新技能企业,具有合工大真空系专业布景组成的技能团队,具有国际化视界和多年真空运用实战经验,在真空泵选型及真空体系模块规划方面有丰厚的堆集与立异。TORRY专心于真空检漏、真空体系范畴的技能型专业供货商,是Edwards爱德华真空泵授权代理商,为科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、校园高真空设备供给优化的真空处理方案。

  iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards是紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于水处理和其他清洁作业运用。它可快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。 iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。其低振荡和低噪音等级的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的工厂地上空间。经过环保形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降操作本钱并协助保护环境!

  Edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵,用于水处理和其他清洁作业运用。 它可快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。

  Edwards iXL120 是可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。 其低振荡和低噪音等级的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的工厂地上空间。 经过环保形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降操作本钱并协助保护环境!

  iXL 系列干泵满意 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制作商场 触及的排气要求。

  这些功能的 泵旨在大极限地进步基板吞吐量,一起尽可能下降功耗、 占地上积和分量。此外,大修距离期内无须保护。

  iXL120:紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁作业运用。它可 快速抽暇负载确定舱室,能耗极低。可用于负载确定和清洁运用的且轻的泵之一。 其低振荡和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中,然后且助于节约名贵的工厂地上空间。环保 形式可在闲暇期间下降设备运用率,以此来下降运用本钱, 有助于保护环境。

  iXL1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载运用。它供给快速舱室抽暇和 极低的功耗。可用于轻负载运用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。经过环保形式可在闲暇期间下降设备 运用率,以此来下降本钱并协助保护环境。

  IPUP2:紧凑型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圆加工和其他清洁作业运用。它可以 以低能耗快速抽暇负载确定舱室。

  IPUP2 细巧简便,适用于负载确定 和清洁运用。其低振荡和低噪声级的使其适合于 在机台上运用或安装在工厂的夹心层中,然后有助于节约名贵的 工厂地上空间,一起大程序地进步泵送功能。环保形式可在 闲暇期间下降设备运用率,以此来下降运用本钱, 有助于保护环境。

  适合在 Applied Materials 的制程平台上运用, 可进步处理才能,一起削减能耗。

  以上文字与图片未经赞同不得修正,转载请标明出处。(深圳市托理拆利机电设备有限公司)

开云网站·联系方式
  • 科研开发
  • 生产
  • 销售
开云网站
联系人:孙经理 
联系电话:15953378268
电话:0533-4655816
传真:0533-4655877  
地址:山东省淄博市博山经济开发区