真空泵全参数及选型

  1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：线mmHg的真空度，选用的线mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

  确定工作真空围: ----首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度围，必须认真研究确定之。

  ----在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。通常来说，系统的极限真空度比系统的工作线%，比前级泵的极限线)

  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应思考在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

  2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强围，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个围之，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

  检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵液体发生反应，泵系统将被污染。同时一定要考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

  主线、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

  4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

  S是抽气率 Q是系统漏气量，放气量。T是温度，P系统压力 M是系统气体分子量！

  体积V，压强P，P•V＝常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。

  当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2＝T1/T2＝常数）

  真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室的气体压力，使之达到一定的要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的围，至今为止还没有一 种真空系统能覆盖这个围。因此，为达到不一样产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置， 选择真空系统时，应考虑下述各点：

  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

  8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

  当然上式只是理论计算结果，还有若干变量因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在。

  目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式线、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。

  当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。

  当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2

  在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减少)1/273。