线）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在必定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表明。
（2）剩余压力：也叫极限真空即真空泵能到达安稳状态下的最低压力，单位“Torr”或%表明。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
（3）抽气量：在必定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走指定气体量叫抽气量，单位m3/h。
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