【48812】真空泵原理图解doc

  禾U用低压、高速和定向活动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限线帕，抽速规模为几十至十几万 升/秒（1 升= 10-3米3）。油分散泵是取得高真空的首要设备，大规模的运用在真 空锻炼、真空镀膜、空间模仿实验和对油污染不灵敏的一些线 年，。这些泵以***蒸气为 作业介质可取得10-5帕线年，***工组成油。这两种油在室温下的饱 和蒸气压都十分低，然后替代了***作为分散泵的作业液。从此油分散泵在高真

  空范畴的工业生产和科学实验中就日渐广泛运用，并奠定了高线时代开端，油分散泵又

  有了新的开展。首要的改善是：①泵的资料采纳运用放气量甚小的不锈钢。②选用饱满蒸气压很低、耐热性 好的油如聚苯醚和硅油作为泵的作业液。③变革结构，新式油分散泵在泵口法兰不变和不过火增大泵的外 形尺度条件下，在法兰下部杰出地扩展泵腔的断面，其抽气速率可增大 20〜40 %。如在此装设一个大直径

  分散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。泵可有一般泵（指没有扩展泵腔断面的泵）的抽气速率，并比较 彻底地克服了泵的返油而取得低于 10-8帕清洁超高空。因而，油分散泵在清洁超高真空的工业生产和科学

  结构和作业原理 油分散泵首要由泵体、分散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、分散器、冷却系统和

  喷发喷嘴等部分所组成（见图）。当油分散泵用前级泵预抽到低于 1帕真空时，油锅可开端加热。欢腾时喷嘴

  喷岀高速的蒸气流，热运动的气体分子分散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子磕碰。气体分子因而而 取得动量，发生和油蒸气分子运动方向相同的定向活动。到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前 级泵抽走而到达抽气意图。

  泵油的蒸气压直接影响泵的真空功能。 但油分散泵所运用的任何泵油，都是蒸气压不同的多组分的混合物。

  因而，要进步油分散泵的抽气和真空功能，泵在作业中本身还要对泵油进行分馏和净化。分馏意图是使高 蒸气压组分的油不进入高真空作业喷嘴 （高真空端的喷嘴）；净化意图是使高蒸气压组分的油在作业进程中

  泵油分馏首要是使用泵油各组分的蒸腾温度不同，使它们分别在不同的锅炉面积上蒸腾。当作业后冷 凝回流的泵油流到有保温罩部分的泵壁时，油即得到预加热，随即流到油锅周边 ，经锅底环形加热器加热

  轻馏分的油到达蒸腾温度便在外层蒸腾而进入低真空作业喷嘴 （靠近前级泵的喷嘴）;未能蒸腾的某些轻馏

  分油也因比重较其他馏分油小而浮到油面上。因为外层蒸气导管的约束，这部分馏分蒸腾后仍进入低真空 作业喷嘴。重馏分的油在外层蒸气导管中因未到达蒸腾温度而未蒸腾，遂从外层由锅底间的缝隙流到油锅 中心蒸腾，进入高真空作业喷嘴。轻、重馏分的油蒸气这样分道供应低真空作业喷嘴和高真空作业喷嘴这 一进程谓之分馏。从喷发喷嘴喷岀的油蒸气在前级得不到充沛的冷却，蒸气中的轻馏分即未能彻底冷凝而 被前级泵抽除。如此循环作业，泵油中的