常用线;

  常用真空泵的工作原理图常用真空泵的工作原理图常用线)真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,,,改善改善改善和维持真空的目的。其工作原理可大致分为机械和维持真空的目的。其工作原理可大致分为机械和维持真空的目的。其工作原理可大致分为机械,,,物理和化学方式。根物理和化学方式。根物理和化学方式。根据要达到的真空度不同据要达到的真空度不同据要达到的真空度不同,,,常常需要常常需要常常需要22种以上的真空泵相组合。种以上的真空泵相组合。种以上的真空泵相组合。代表的真空泵代表的线：旋转式机械泵：旋转式机械泵：旋转式机械泵222：分子泵（：分子泵（：分子泵（TMPTMPTMP））333：离子泵：离子泵：离子泵：TiTiTi升华泵升华泵升华泵555：低温泵：低温泵：低温泵曾经被普遍的使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经曾经被普遍的使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经曾经被普遍的使用的油扩散泵因为存在油气蒸发的问题、现在已经很少被采用。很少被采用。很少被采用。旋转式机械泵旋转式机械泵旋转式机械泵以油封式真空泵为例加以介绍。以油封式真空泵为例加以介绍。以油封式真空泵为例加以介绍。构造：偏心轴转子构造：偏心轴转子构造：偏心轴转子,,,固定翼固定翼固定翼,,,油。旋转动力是电机。油。旋转动力是电机。油。旋转动力是电机。原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移原理：转子紧贴泵壁内侧旋转。固定翼随之下移,,,转子到达油面后转子到达油面后转子到达油面后,,空气被压缩空气被压缩空气被压缩,,,压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。压缩后的空气压力高于外界大气压之后从排气口排出。特征：特征：特征：排气能力由压缩比决定排气能力由压缩比决定排气能力由压缩比决定,,,可达可达可达0.1Pa0.1Pa0.1Pa程度。简单易操作。可以从大气程度。简单易操作。可以从大气程度。简单易操作。可以从大气压状态下启动。油要蒸发。压状态下启动。油要蒸发。压状态下启动。油要蒸发。为了尽最大可能避免油或其它液体进入真空腔内为了尽最大可能避免油或其它液体进入真空腔内为了尽最大可能避免油或其它液体进入真空腔内,,,不用油或其它液体的干式真不用油或其它液体的干式真不用油或其它液体的干式真空泵正在成为主要的旋转式机械泵。空泵正在成为主要的旋转式机械泵。空泵正在成为主要的旋转式机械泵。分子泵（分子泵（分子泵（TMPTMPTMP））构造：电机驱动的非常快速地旋转叶片构造：电机驱动的非常快速地旋转叶片构造：电机驱动的非常快速地旋转叶片,,,泵壁上固定的固定叶片。泵壁上固定的固定叶片。泵壁上固定的固定叶片。原理：每分钟旋转数万次的非常快速地旋转叶片撞击气体分子原理：每分钟旋转数万次的非常快速地旋转叶片撞击气体分子原理：每分钟旋转数万次的非常快速地旋转叶片撞击气体分子,,,被撞击的被撞击的被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,,,最终被送到最终被送到最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,,,使分子难于逆行。这种排使分子难于逆行。这种排使分子难于逆行。这种排气方式气方式气方式,,,排气速度不因气体种类而变。排气速度不因气体种类而变。排气速度不因气体种类而变。特征：特征：特征：不用油不用油不用油,,,工作环境清洁工作环境清洁工作环境清洁,,,可到达可到达可到达10-10Pa10-10Pa10-10Pa的真空度。排气速度不受气的真空度。排气速度不受气的真空度。排气速度不受气体种类影响。体种类影响。体种类影响。构造复杂构造复杂构造复杂,,,价格昂贵价格昂贵价格昂贵,,,非常快速地旋转非常快速地旋转非常快速地旋转,,,要注意安装要求。要注意安装要求。要注意安装要求。有振动。有振动。有振动。需要和其它初段排气泵组合。需要和其它初段排气泵组合。需要和其它初段排气泵组合。离子泵离子泵离子泵构造：强磁铁构造：强磁铁构造：强磁铁,,,蜂窝状阳极蜂窝状阳极蜂窝状阳极,,钛(Ti)(Ti)(Ti)阴极。阴极。阴极。原理：通过溅射现象原理：通过溅射现象原理：通过溅射现象,,TiTiTi离子化离子化离子化,Ti,Ti,Ti离子化学反应活性高。和气离子化学反应活性高。和气离子化学反应活性高。和气体分子反应之后生成化合物。体分子反应之后生成化合物。体分子反应之后生成化合物。一部分气体分子也离子化之后向阴极加速一部分气体分子也离子化之后向阴极加速一部分气体分子也离子化之后向阴极加速,,,使阴极的使阴极的使阴极的TiTiTi被溅射后被溅射后被溅射后,,一部分离子进入阴极内部。一部分离子进入阴极内部。一部分离子进入阴极内部。特征：特征：特征：能达到超高真空能达到超高线Pa)需要和其它初段排气泵组合。需要和其它初段排气泵组合。需要和其它初段排气泵组合。有一定寿命。有一定寿命。有一定寿命。TiTiTi升华泵升华泵升华泵构造：加热电阻丝、构造：加热电阻丝、构造：加热电阻丝、TiTiTi材料材料材料((原理：通过加热电阻丝原理：通过加热电阻丝原理：通过加热电阻丝,,TiTiTi升华。因为升华。因为升华。因为TiTiTi化学反应活性高、立化学反应活性高、立化学反应活性高、立刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。刻和周围的气体分子反应而生成稳定的化合物。反应生成的化合物吸反应生成的化合物吸反应生成的化合物吸附在真空腔内壁上、进而达到降低气压的效果。如果升华后的附在真空腔内壁上、进而达到降低气压的效果。如果升华后的附在真空腔内壁上、进而达到降低气压的效果。如果升华后的TiTiTi吸吸附在较大面积的内壁上、附在较大面积的内壁上、附在较大面积的内壁上、则产生巨大的排气速度。则产生巨大的排气速度。则产生巨大的排气速度。比如比如比如11平方米的面平方米的面平方米的面积上吸附积上吸附积上吸附TiTiTi原子的话、对氮气而言、可达到原子的话、对氮气而言、可达到原子的话、对氮气而言、可达到升升的排气速度。的排气速度。的排气速度。在压力较高时在压力较高时在压力较高时(10-3Pa)(10-3Pa) (10-3Pa)、、 、排气速度大幅度的降低。 排气速度大幅度的降低。 排气速度大幅度的降低。因此就需要和其他排气泵 因此就需要和其他排气泵 因此就需要和其他排气泵 组合使用。 组合使用。 组合使用。 特征：特征： 特征： 排气速度大。排气速度大。 排气速度大。 没有运动部分没有运动部分 没有运动部分,, ,没有振动。 没有振动。 没有振动。 需要和其它初段排气泵组合。需要和其它初段排气泵组合。 需要和其它初段排气泵组合。 有一定寿命。有一定寿命。 有一定寿命。 低温泵低温泵 低温泵 构造：冷冻机、液态构造：冷冻机、液态 构造：冷冻机、液态He He He。。 原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。 原理：利用气体在超低温表面凝结而达到排气效果。 特征：特征： 特征： 能达到超高线Pa) 排气速度快。 排气速度快。 排气速度快。 安装方向不受限制。安装方向不受限制。 安装方向不受限制。

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